Samsungs Einsatz von Molybdän in Gen 9 V-NAND

Samsung hat sich entschieden, Molybdänin den Metallisierungsprozess seiner Gen 9 V-NAND zu integrieren, wie TheElec berichtet. Das Unternehmen hat fünf Mo-Beschichtungsmaschinen von Lam Research beschafft und plant, diese Zahl im nächsten Jahr auf zwanzig Einheiten zu erhöhen. Im Gegensatz zu Wolframfluorid (WF6) sind die in diesem Prozess verwendeten Mo-Vorläufer fest und müssen auf 600 Grad Celsius erhitzt werden, um sich in Gas zu verwandeln. Dieser strategische Wechsel von Wolfram zu Molybdän in der Oxid-Nitrid-Oxid-Struktur erhöht den Transistorwiderstand und ermöglicht es Samsung, mehr Schichten in seiner NAND-Produktion zu stapeln.

Auswirkungen auf die NAND-Materiallieferkette

Samsungs Entscheidung, Molybdän einzusetzen, bedeutet erhebliche Veränderungen in der NAND-Materiallieferkette. Das Unternehmen bezieht Molybdän von Anbietern wie Entegris und Air Liquide, wobei Merck auch Muster liefert. Es wird erwartet, dass sich diese Verschiebung auf den Markt für WF6 auswirken wird, da der Preis für Mo etwa zehnmal höher ist als für WF6. Folglich entwickeln einheimische Unternehmen für Halbleitermaterialien wie SK Trichem, Hansol Chemical und Oceanbridge Molybdänressourcen, um die Nachfrage der Industrie zu decken.

Ausweitung der Anwendungen über NAND hinaus

Über die Anwendung in der NAND-Produktion hinaus wird erwartet, dass Molybdän-Vorprodukte eine entscheidende Rolle bei der Weiterentwicklung von DRAM- und Logik-Chips spielen werden. Diese Erweiterung unterstreicht die Vielseitigkeit und wachsende Bedeutung von Molybdän in verschiedenen Halbleitertechnologien. Da Samsung, SK Hynix, Micron und Kioxia den Einsatz von Molybdän erforschen, ist die Halbleiterindustrie bereit für weitere Innovationen und Effizienzsteigerungen im Bereich der Hochleistungsspeicher und Logikbausteine.

Kommentare des Autors

Molybdän (Mo) ist ein vielschichtiges Metall, das mich immer wieder verblüfft. Wir verwenden Mo in unseren Touchscreens, um sie korrosionsbeständiger zu machen. Molybdän ist für seine außergewöhnlichen Eigenschaften bekannt: hoher Schmelzpunkt, unübertroffene Festigkeit bei extremer Hitze, hervorragende elektrische Leitfähigkeit und bemerkenswerte Korrosionsbeständigkeit - Molybdän ist in vielen Branchen unverzichtbar. Von der Verstärkung von Stahl über die Katalyse chemischer Reaktionen bis hin zur Gestaltung der Zukunft der Halbleitertechnologie, wie bei Samsungs bahnbrechender V-NAND-Produktion, kennt die Vielseitigkeit von Molybdän keine Grenzen.

Christian Kühn

Christian Kühn

Aktualisiert am: 08. July 2024
Lesedauer: 3 Minuten