Samsung's toepassing van molybdeen in Gen 9 V-NAND

Samsung heeft ervoor gekozen om molybdeen te integreren in het metallisatieproces van zijn Gen 9 V-NAND, een stap waarover TheElec bericht. Het bedrijf heeft vijf Mo-depositiemachines aangeschaft bij Lam Research en is van plan dit aantal volgend jaar uit te breiden naar twintig eenheden. In tegenstelling tot wolfraamfluoride (WF6) zijn Mo-precursors die in dit proces worden gebruikt vast en moeten ze tot 600 graden Celsius worden verhit om in gas te worden omgezet. Deze strategische omschakeling van wolfraam naar molybdeen in de oxide-nitride-oxide structuur verbetert de weerstand van de transistor, waardoor Samsung meer lagen kan stapelen in zijn NAND-productie.

Invloed op de toeleveringsketen van NAND-materiaal

De beslissing van Samsung om molybdeen te gaan gebruiken, betekent een belangrijke verandering in de toeleveringsketen van NAND-materialen. Het bedrijf betrekt Mo van leveranciers zoals Entegris en Air Liquide, terwijl Merck ook monsters levert. Deze verschuiving zal naar verwachting de markt voor WF6 beïnvloeden, aangezien Mo ongeveer tien keer zo duur is als WF6. Daarom ontwikkelen binnenlandse bedrijven in halfgeleidermaterialen zoals SK Trichem, Hansol Chemical en Oceanbridge molybdeenbronnen om aan de vraag van de industrie te voldoen.

Bredere toepassingen dan NAND

Naast de toepassing in de NAND-productie zullen molybdeenprecursoren naar verwachting een cruciale rol spelen in de ontwikkeling van DRAM- en logische chips. Deze uitbreiding onderstreept de veelzijdigheid en het groeiende belang van molybdeen in verschillende halfgeleidertechnologieën. Nu Samsung, SK Hynix, Micron en Kioxia het gebruik van molybdeen onderzoeken, is de halfgeleiderindustrie klaar voor verdere innovatie en efficiëntiewinst op het gebied van geheugen en logische apparaten met hoge prestaties.

Opmerkingen van de auteur

Molybdeen (Mo) is een veelzijdig metaal dat me altijd blijft verbazen. We gebruiken Mo in onze aanraakschermen om ze corrosiebestendiger te maken . Molybdeen staat meer bekend om zijn uitzonderlijke eigenschappen, zoals een hoog smeltpunt, ongeëvenaarde sterkte bij extreme hitte, uitstekende elektrische geleidbaarheid en opmerkelijke corrosiebestendigheid. Molybdeen is onmisbaar in verschillende industrieën. Van het versterken van staal tot het katalyseren van chemische reacties en zelfs het vormgeven van de toekomst van halfgeleidertechnologie, zoals in de baanbrekende V-NAND-productie van Samsung, de veelzijdigheid van molybdeen kent geen grenzen.

Christian Kühn

Christian Kühn

Bijgewerkt op: 08. July 2024
Leestijd: 3 minuten